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고정밀 검사와 자동화를 위한 다양한 제품 라인업을 제공합니다. 고객의 다양한 생산 환경에 최적화된 솔루션을 만나보세요.

H자형 평면 에어플로팅 플랫폼

H자형 평면 에어플로팅 플랫폼

Product Description

높은 동적 성능, 마찰 및 진동이 없는 부드러운 움직임, 1nm의 격자 스케일 해상도, 낮은 열팽창 계수 및 기타 제품 기능. 이중 드라이브 빔은 모두 에어 가이드, XY 통합, 낮은 Abbe 암 및 기타 구조적 특징이 있는 H-브리지 구조를 갖추고 있습니다. 다양한 크기와 공정의 웨이퍼 검사 응용 분야에 적합합니다.

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주요 특징

모델 명명법

H자형 평면 에어플로팅 플랫폼 모델 명명법

사양표

H자형 평면 에어플로팅 플랫폼 사양표

도면

H자형 평면 에어플로팅 플랫폼 도면

H자형 평면 에어플로팅 플랫폼 도면